等離子即物質的第四態，是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣狀物質。這種電離氣體是由原子，分子，原子團，離子，電子組成。其作用在物體表面可以實現物體的超潔凈清洗、物體表面活化、蝕刻、精整以及等離子表面涂覆。根據等離子體中存在微粒的不同，其具體可以實現對物體處理的原理也各不相同，加之輸入氣體以及控制功率的不同，都實現了對物體處理的多樣化。

 

　　等離子表面處理儀因低溫等離子體對物體表面處理的強度小于高溫等離子體，能夠實現對處理物體表面的保護作用，應用中我們使用的多為低溫等離子體。并且各種粒子在對物體處理過程中所表現出來的作用也個不相同的，原子團（自由基）主要是實現對物體表面化學反應過程中能量傳遞的“活化”作用；電子對物體表面作用主要包括兩方面：一方面是對物體表面的撞擊作用，另一方面是通過大量的電子撞擊引起化學反應；離子通過濺射現象實現對物體表面的處理；紫外線通過光能使物體表面的分子鍵斷裂分解，并且增強穿透能力。

 

　　等離子表面處理儀而言，目前所有的表面處理方法中，氟化處理的效果是相對較好的，它能使材料獲得粘接力。目前一些新的表面處理技術在處理效果、操作的經濟性和環保性等方面為汽車制造商們提供了新的選擇。例如，真空等離子處理技術就是一種既經濟又環保的表面處理技術，并且經其處理后的部件表面可滿足很多高標準的工藝要求。該技術是將一種環保型的處理氣體導入到真空倉內，當倉內壓力達到一定水平時，氣體即在電磁放電的作用下轉換成等離子。這些等離子可對三維工件表面進行均勻處理，從而使塑料制品的表面能得到明顯提高。